蔡司GeminiSEM可助您輕松實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)分辨率的成像。出色的成像和分析技術(shù)更使FE-SEM（場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡）如虎添翼。我們采用創(chuàng)新的電子光學(xué)系統(tǒng)和全新樣品倉(cāng)設(shè)計(jì)，不僅操作更加簡(jiǎn)便，用途更加靈活多樣，還可為您帶來更高的圖像質(zhì)量。無(wú)需水浸物鏡即可拍攝低于1 kV的亞納米級(jí)圖像。探索蔡司Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)的三種設(shè)計(jì)：

• 分析測(cè)試平臺(tái)的理想選擇——蔡司GeminiSEM 360

• 實(shí)現(xiàn)高效分析——蔡司GeminiSEM 460

• 表面成像的新標(biāo)準(zhǔn)——蔡司GeminiSEM 560

蔡司GeminiSEM 360掃描電鏡

GeminiSEM 360是用于您分析測(cè)試平臺(tái)的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了良好的功能性。憑借其Gemini 1電子光學(xué)鏡筒，GeminiSEM 360可為各種應(yīng)用和樣品類型提供高分辨率成像及分析。

高樣品靈活性

? GeminiSEM 360是用于分析測(cè)試平臺(tái)的理想設(shè)備，為材料和生命科學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域提供了良好的功能性。

? 同名的Gemini 1電子光學(xué)設(shè)計(jì)提供表面靈敏的高分辨率圖像，即使在低電壓條件下仍具有出色的分辨率，并在高探針電流條件下提供快速成像。

? Inlens二次電子成像和背散射電子成像可同時(shí)收集高分辨率的表面形貌和復(fù)合成分襯度信息（對(duì)電子束敏感樣品亦是如此）。

? 在低真空條件（即可變壓力）下對(duì)絕緣樣品進(jìn)行成像時(shí)，無(wú)需犧牲Inlens襯度：NanoVP保證了出眾功能，確保在不受荷電影響的情況下進(jìn)行Inlens成像。

出色的用戶體驗(yàn)

? 蔡司GeminiSEM 360掃描電鏡帶來良好的用戶體驗(yàn)：憑借其寬闊的觀察視野和高度個(gè)性化的全新樣品倉(cāng)，即使在面對(duì)超大型樣品時(shí)也能輕松檢測(cè)。

? 通過蔡司ZEN Connect實(shí)現(xiàn)的關(guān)聯(lián)式成像和關(guān)聯(lián)顯微技術(shù)，讓您暢享無(wú)縫導(dǎo)航。

? 使用自動(dòng)功能（如自動(dòng)聚焦功能和智能探測(cè)器），輕松獲得清晰圖像。

? 幾何對(duì)稱設(shè)計(jì)的EDS端口和共面式EDS/EBSD幾何結(jié)構(gòu)，讓您在執(zhí)行高效成像和分析工作流程時(shí)更加游刃有余。

? 蔡司Predictive Service（預(yù)防性維護(hù)）可讓您充分利用系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間，盡享隨時(shí)進(jìn)行定期維護(hù)的優(yōu)勢(shì)。

杰出的拓展能力

? 系統(tǒng)可不斷升級(jí)是保障您的投資的前提條件。因此，GeminiSEM 360也是蔡司ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)中的一員，讓您能夠暢享系統(tǒng)升級(jí)的便利。

? ZEN Connect可結(jié)合多模態(tài)和多尺度數(shù)據(jù)，ZEN Intellesis用于高級(jí)人工智能所支持的圖像分割，ZEN的分析模塊用于報(bào)告和分析分割的數(shù)據(jù)，ZEN數(shù)據(jù)存儲(chǔ)讓您可以通過連接實(shí)驗(yàn)室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)來集中管理項(xiàng)目。

? 作為APEER社區(qū)的成員，您可訪問其他用戶創(chuàng)建的工作流和腳本，從而遠(yuǎn)程幫助您解決難題。

? 由于提供明確的升級(jí)路徑，系統(tǒng)可隨新功能的發(fā)布得到進(jìn)一步提升。

GeminiSEM 460

GeminiSEM 460專為應(yīng)對(duì)要求嚴(yán)苛的分析任務(wù)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高效分析和自動(dòng)化的工作流程。在面對(duì)顯微鏡領(lǐng)域充滿挑戰(zhàn)的分析任務(wù)時(shí)，其Gemini 2鏡筒能夠助您一臂之力，成像與分析條件可無(wú)縫切換。

兼顧高分辨率和高電流

? GeminiSEM 460專為應(yīng)對(duì)要求嚴(yán)苛的分析任務(wù)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高效分析和自動(dòng)化的工作流程。

? 快速執(zhí)行高分辨率成像和分析：使用Gemini 2鏡筒，從低束流-低電壓工作條件無(wú)縫切換到高束流-高電壓工作條件（或反之）。

? 同時(shí)，可使用多個(gè)探測(cè)器對(duì)任意樣品進(jìn)行表征。

? 利用多功能樣品倉(cāng)進(jìn)行高效分析，還可選擇合適的分析探測(cè)器。

? 在全新的VP模式下，調(diào)高電流，獲得計(jì)數(shù)率達(dá)4000點(diǎn)/秒的EBSD成像。

? 通過兩個(gè)幾何對(duì)稱的EDS端口和共面式EDS/EBSD配置，可以檢測(cè)化學(xué)組分和晶體取向，實(shí)現(xiàn)高速、無(wú)陰影的EDS/EBSD成像。

定制自動(dòng)化工作流

? 由于擁有如此強(qiáng)大的分析能力，工作流程的自動(dòng)化便顯得至關(guān)重要。使用蔡司的Python腳本API，可創(chuàng)建并配置屬于您的自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)流程。

? 根據(jù)您的個(gè)性化需求修改實(shí)驗(yàn)流程并量身定制想要的效果。

? 充分利用STEM斷層掃描成像功能：將自動(dòng)傾斜和旋轉(zhuǎn)功能與特征跟蹤功能有效結(jié)合，在將所有對(duì)齊的圖像發(fā)送至專屬三維重構(gòu)軟件后，可構(gòu)建具有納米級(jí)分辨率的三維斷層成像。

? 若需要測(cè)試材料承受極限，蔡司會(huì)為您提供執(zhí)行自動(dòng)化原位加熱和拉伸實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，在實(shí)驗(yàn)過程中，可自動(dòng)為您呈現(xiàn)材料在加熱和拉伸下的情況，并實(shí)時(shí)繪制應(yīng)力應(yīng)變曲線。

為您帶來更多可能性

? 以Gemini 2鏡筒的設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)，在用于材料和生命科學(xué)領(lǐng)域時(shí)，超高可調(diào)電流密度條件下的分析能力顯著提升，即使在低電壓條件下亦是如此。

? 您可充分利用各種配件來升級(jí)系統(tǒng)。例如，不僅可以加入分析設(shè)備，還可使用原位實(shí)驗(yàn)設(shè)備、冷凍成像和納米探針設(shè)備對(duì)多功能樣品倉(cāng)進(jìn)行配置。存儲(chǔ)器可讓您連接到實(shí)驗(yàn)室中不同設(shè)備采集的數(shù)據(jù)，從而能夠集中管理項(xiàng)目。

? 在使用設(shè)備期間，可隨時(shí)輕松裝配和升級(jí)各種配置。

? 所有GeminiSEM均加入了蔡司ZEN core生態(tài)系統(tǒng)，通過這項(xiàng)功能，您可訪問ZEN Connect、ZEN Intellesis及ZEN的分析模塊，幫助您生成報(bào)告和實(shí)現(xiàn)GxP工作流程。

GeminiSEM 560

GeminiSEM 560全面提升了表面靈敏度、無(wú)畸變、高分辨率成像的標(biāo)準(zhǔn)，能夠在低于1 kV的條件下輕松成像。還引入了Gemini 3鏡筒及全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot，能在任何工作條件下達(dá)到該系列的高分辨率。

輕松實(shí)現(xiàn)1 kV以下成像

? Gemini 3鏡筒在低于1 kV、分辨率低于1 nm的條件下進(jìn)行無(wú)漏磁成像，且無(wú)需樣品臺(tái)偏壓或單色器。其包含Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。

? 采用全新可變壓力模式和探測(cè)系統(tǒng)可獲得非導(dǎo)電物質(zhì)的圖像：在VP模式下，通過低光毒性樣品交換艙后，將真空敏感樣品放入樣品倉(cāng)，可確保在保留特征的同時(shí)快速獲得結(jié)果。

? 利用帶雙EDS端口的全新大樣品倉(cāng)輕松分析精細(xì)樣品。出色的探測(cè)器立體角確保您獲得快速、無(wú)陰影的成像。

整合專業(yè)知識(shí)

? 該系統(tǒng)的觀察視野大大增加，從而可以輕松進(jìn)行簡(jiǎn)便的樣品導(dǎo)航。

? 對(duì)于要求極為嚴(yán)苛的樣品，全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot大幅提升了成像速度。其可以節(jié)省時(shí)間，讓您無(wú)需進(jìn)行耗時(shí)的對(duì)焦：此款引擎能夠驅(qū)動(dòng)電子光學(xué)系統(tǒng)，放大倍率范圍從小于1倍到高達(dá)500,000倍，可全程進(jìn)行自動(dòng)對(duì)中、校準(zhǔn)和聚焦。獲得專li的全新視差自動(dòng)聚焦也包含在內(nèi)，全新的自動(dòng)擺動(dòng)功能為您在數(shù)秒之內(nèi)提供清晰圖像。

? Python腳本可在三維STEM斷層掃描成像等自動(dòng)化工作流中使用這些功能。

體驗(yàn)出色的襯度

? 在您設(shè)置的工作前提下找到有效點(diǎn)意味著您已經(jīng)選擇了正確的參數(shù)組合，而實(shí)現(xiàn)理想圖像的訣竅則是找到該參數(shù)組合。Gemini無(wú)漏磁技術(shù)及其全新的Gemini 3鏡筒可為您呈現(xiàn)理想的參數(shù)組合，助您探索新信息。

? 樣品上的磁場(chǎng)小于2 mT，能輕松實(shí)現(xiàn)磁疇襯度成像。采用可進(jìn)行能量選擇的Inlens背散射探測(cè)器可執(zhí)行能量光譜成像，采用環(huán)形背散射探測(cè)器可執(zhí)行電子環(huán)形光譜成像。

? 使用ZEN Connect將所有數(shù)據(jù)匯集在一起，細(xì)分并報(bào)告您的發(fā)現(xiàn)。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)背后的科技

Gemini 1

基本原理簡(jiǎn)介

FE-SEM專為高分辨率成像設(shè)計(jì)，性能的一個(gè)關(guān)鍵是其電子光學(xué)鏡筒。Gemini是為實(shí)現(xiàn)任何樣品的出色分辨率而特別設(shè)計(jì)的（尤其在低加速電壓下），可實(shí)現(xiàn)完整高效的探測(cè)，且操作簡(jiǎn)單。

Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)有以下三個(gè)主要特征：

● Gemini物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場(chǎng)與電磁場(chǎng)，在大幅提升光學(xué)性能的同時(shí)大大降低了對(duì)樣品的影響。如此也可實(shí)現(xiàn)對(duì)磁性材料等具有挑戰(zhàn)性的樣品的高品質(zhì)成像。

● Gemini電子束推進(jìn)器技術(shù)是一種集成光束減速器，確保了小尺寸的電子束斑和高信噪比。

● Gemini Inlens的探測(cè)設(shè)計(jì)原理通過同時(shí)探測(cè)二次電子（SE）和背散射電子（BSE），大幅縮短到圖像的時(shí)間，確保了高效的信號(hào)探測(cè)。

針對(duì)您的應(yīng)用，可以有以下優(yōu)勢(shì)：

? SEM電子束對(duì)準(zhǔn)可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定，改變探針電流和加速電壓對(duì)系統(tǒng)幾乎沒有影響。

? 幾乎無(wú)磁場(chǎng)泄露的光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)無(wú)失真高分辨率成像。

? 使用Inlens SE探測(cè)器，可通過真正的表面敏感性SE 1電子技術(shù)生成圖像，從而只獲得樣品最頂層的信息。

? 使用Inlens EsB探測(cè)器的探測(cè)設(shè)計(jì)理念，在非常低的電壓下獲得真實(shí)的材料成分襯度。

Gemini 2

充分利用快速分析

任何樣品的全面表征都需要高性能的成像和分析，另外，如今的用戶都希望設(shè)備易于設(shè)置和操作。Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)能滿足這些需求。

高分辨率成像與分析可無(wú)縫切換

● GeminiSEM 460配備具有雙聚光鏡的Gemini 2光學(xué)系統(tǒng)。

● 連續(xù)調(diào)整電子束的電流強(qiáng)度，同時(shí)優(yōu)化束斑大小。

● 可在低束流的高分辨率成像與高束流的分析模式之間進(jìn)行無(wú)縫切換。

● 在更改成像參數(shù)后無(wú)需進(jìn)行校準(zhǔn)，省時(shí)省力。

保持靈活，高效工作

? 保持靈活：使用高電子束能量密度在低束流和高束流下進(jìn)行高分辨率成像和分析，不受您選擇的電子束能量影響。

? 樣品不會(huì)暴露于磁場(chǎng)中：實(shí)現(xiàn)了大觀察視野內(nèi)的無(wú)失真EBSD圖案和高分辨率成像。

? 樣品傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)不影響電子光學(xué)系統(tǒng)的性能，磁性樣品也能輕松成像。

? 選擇適合樣品的消荷電模式：局部電荷補(bǔ)償、腔室內(nèi)可變壓力或NanoVP。

Gemini 3

在低于1 kV條件下成像——整合專業(yè)知識(shí)

Gemini 3光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化了低電壓和極低電壓下的分辨率并實(shí)現(xiàn)了襯度增強(qiáng)，確保從1 kV到30 kV的所有工作條件下成像效果可達(dá)高分辨率且包含兩個(gè)彼此協(xié)同運(yùn)作的組件：Nano-twin物鏡和全新的電子光學(xué)引擎Smart Autopilot。此外，它還具有高分辨率電子槍模式和可選的樣品臺(tái)減速技術(shù)（Tandem decel）。

分辨率模式——讓您看到更多細(xì)節(jié)

通過兩種模式可獲得SEM圖像的更多細(xì)節(jié)和更多探測(cè)信號(hào)。在高分辨率電子槍模式下，電子束色差降低，從而實(shí)現(xiàn)了更小的束斑；在樣品臺(tái)減速技術(shù)模式下，為樣品施加減速電壓，從而可進(jìn)一步提高1 kV以下的圖像分辨率并增強(qiáng)背散射探測(cè)器的檢測(cè)效率。

Nano-twin物鏡的優(yōu)勢(shì)：

● 在低電壓和超低電壓下達(dá)到亞納米級(jí)分辨率，實(shí)現(xiàn)更出色的信號(hào)探測(cè)效率。

● 與標(biāo)準(zhǔn)Gemini物鏡相比，在低電壓下的物鏡像差降低了三倍，從而使樣品上的磁場(chǎng)降低了三倍，約為1 mT。

● 優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu)和靜電場(chǎng)及磁場(chǎng)分布。

● Inlens探測(cè)器在低電壓成像條件下的信號(hào)得到增強(qiáng)。

● 這些特性提供了在低于1 kV的條件下完成亞納米級(jí)成像的能力，而無(wú)需將樣品浸入電磁場(chǎng)中。

工作原理：

● Smart Autopilot優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌跡，從而確保了在每個(gè)加速電壓下盡可能高的分辨率。

● 該自動(dòng)功能實(shí)現(xiàn)了在整個(gè)放大倍率范圍內(nèi)（從1倍到2,000,000倍）的無(wú)縫對(duì)準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增加了10倍，從而可以在單幅圖像中對(duì)13 cm的物體成像。

● 32k×24k的圖像存儲(chǔ)分辨率與新的概覽模式相結(jié)合，確保在超大觀察視野內(nèi)獲得無(wú)拼接的像素密度。